光譜分析儀器是用來分析檢測物質元素組成的一種重要儀器，有直讀光譜儀，X熒光光譜儀，其實本質就是分析光的組成來判定元素組成的一種方法，作為衡量檢測效果的度量單位，精密度又是一種客觀存在。
精密度是指在規定條件下，獨立試驗結果間的一致性。表征測定過程中隨機誤差的大小。 精密度的大小，極差、平均偏差、相對平均偏差、標準偏差和相對標準偏差都可用來表示精密度大小，較常用的是標準偏差。說明精密度越高，在統計學上為更準確地衡量精密度，一般用標準（偏）差來表示。 精密度是表示試驗的重復性與再現性，高的精密度是保證獲得良好準確度的先決條件，一般說來，精密度不高，就不可能有良好的準確度。反之，精密度高，準確度不一定好，這種情況表明測定中隨機誤差小，但系統誤差較大。
光譜分析儀的精密度
平行性
平行性指在同一實驗室中，當分析人員、分析設備和分析時間都相同時，用同一分析方法對同一樣品進行雙份或多份平行樣測定結果之間的符合程度。
重復性
重復性指在同一實驗室內，當分析人員、分析設備和分析時間三因素中至少有一項不相同時，用同一分析方法對同一樣品進行的兩次或兩次以上獨立測定結果之間的符合程度。
再現性
在不同的實驗室，由不同操作者使用不同的設備，按相同的試驗方法，對同一試樣（或元件）相互獨立進行的試驗結果間的一致性。 試驗結果再現性和重復性的區別是顯而易見的。雖然都是指同一試樣的試驗結果之間的一致性，但其前提不同。重復性是在試驗條件保持不變的情況下，連續多次試驗結果之間的一致性；而再現性則是指在試驗條件改變了的情況下，試驗結果之間的一致性。 再現性又稱為復現性、重現性，用再現性標準差來表示。再現性標準差有時也稱為組間標準差。在給出再現性時，應詳細地說明試驗條件改變的情況，包括：試驗人員、試驗儀器、地點、使用條件及時間。這些內容可以改變其中一項、多項或全部。
期間測量精密度
期間測量精密度，簡稱期間精密度，指一段時期內在期間精密度條件下的精密度，類似于日常工作中常說的“批間精密度”。 期間精密度條件指相同測量程序、相同地點，在一個長時期內重復測量同一被測對象的一組測量條件。在這一段時間內可以對儀器進行重新校準或更換操作者等。